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氦質譜檢漏儀的優點集中體現在這4個方面
更新時間:2020-12-10 點擊次數:1803
   氦質譜檢漏儀為氣體工業名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。
  氦質譜檢漏儀中沒有手動閥,現已采用自控閥自動調節運轉時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴散泵, 以消除可能造成的油返流。計算機技術也在檢漏儀中獲得應用。運轉、控制和輸出數據均由計算機自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進行。
  檢漏儀現在已經滲透到軍工、航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業。檢漏儀在未來的歲月中還將在許多的工業領域中得到新的應用。
  氦質譜檢漏儀的優點集中體現在以下幾個方面:
  (1)便攜式:很多小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。
  (2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。
  (3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
  (4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
  為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。例如可通過采用改變分子泵轉速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。另外,逆擴散檢漏方式,實現了高壓強下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
  氦質譜檢漏儀質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統,不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。

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